Что такое ультразвуковое распыление?

Что такое ультразвуковое распылительное покрытие?

Ультразвуковое распыление, также известен какУльтразвуковое покрытие, это процесс распыления с использованиемУльтразвуковой распылитель Технологияy. Распыленный материал сначала в жидком состоянии. Жидкость может представлять собой решение, соль, суспензию и т. Д. Жидкое покрытие сначала распыляется в мелкие частицы ультразвуковым устройством распыления, а затем равномерно покрыты на поверхности подложки определенным количеством несущего газа, тем самым образуя покрытие или фильм. Наибольшая разница между ультразвуковым распылением и традиционным однолюдным или двум жидким распылением состоит в том, что распылительное устройство или распыление сопла используют ультразвуковое распылительное устройство, то есть ультразвуковое сопло.

По сравнению с традиционным двум-жидким распылением, ультразвуковое распыление имеет преимущества высокой однородности покрытия, высокого сырья использования, высокой точности контроля толщины покрытия, более тонкое покрытие толщины, менее брызги, не засорение сопел и низких затрат на техническое обслуживание. По сравнению с такими процессами покрытия, как вакуумное испарение и CVD, ультразвуковое распыление является более экономичным способом покрытия тонкопленочного покрытия, особенно при приготовлении тонких пленок большой площади, стоимость оборудования ультразвукового распыления ниже, чем у вакуумного оборудования для покрытия.

Основными преимуществами ультразвукового распыления являются:

1. Высокая однородность покрытия

Однородность распределения жидких частиц распыляетсяУльтразвуковой распылительный нозleЗначительно выше, чем у двух жидкостной форсунки, который обычно известен как пистолет с распылением воздуха, так что однородность покрытия после распыления ультразвуковым сомом улучшается. При нормальных обстоятельствах однородность покрытия ультразвукового распыления может достигать более 95%.

2. Скорость утилизации сырья, меньше всплеск

Поскольку ультразвуковое распыление представляет собой распыление жидкости ультразвуковым преобразователем, процесс распыления покрытия не требует никакого газа, то есть процесс распыления не требует давления, и только очень низкое давление газа носителя применяется для транспортировки жидкого тумана после распыления. Это значительно уменьшает отскок жидкости и всплеск, вызванную двум жидкости, распыляющую воздух высокого давления, тем самым значительно улучшают скорость использования покрытия. Скорость утилизации сырья ультразвукового распыления составляет более 4 раз, чем обычное распыление воздуха, а скорость использования может достигать более 90%.

3. Высокая точность контроля толщины покрытия

Основным фактором, влияющим на точность толщины покрытия, является распыление распыления покрытия, которая является количество материала, загруженного на подложку на единицу времени. ТоУльтразвуковое соплоНе имеет эффекта давления на жидкости, поэтому скорость распыляемого покрытия жидкостью может быть полностью контролируется высокоточным дозирующим насосом, тем самым реализуя высокоточное управление распылением распыления. Например, высокоточный шприцевой насос имеет точность контроля потока до пиколитеров в секунду, а конструкция микро-канала ультразвуковой форсунки также может достичь общей точности контроля нанолитров в секунду.

4. Толщина покрытия тонкая, до десятков нанометров

Поскольку объем распыления ультразвуковой сопла может достичь очень низкой и стабильной скорости потока (0,001 мл / мин), она может достичь очень небольшого количества нагрузки на подложку, тем самым реализую очень тонкую сухую пленку. Для некоторых наноматериалов толщина сухого пленки может быть столь же низкой, как десятки нанометров. Его можно использовать для приготовления стеклянных пленок, таких как прозрачная проводящая пленка, антиректорная и антиректорная пленка, теплоизоляционная пленка, гидрофильная и гидрофобная пленка.

5. Насадка не забита, а стоимость обслуживания низкая

Поскольку ультразвуковое сопло достигает распыления жидкости через ультразвуковой преобразователь, а распыленные частицы определяются ультразвуковой частотой преобразователя, она отличается от двух жидкого сопла. Диаметр сопла не должен быть маленьким для достижения тонких распыленных частиц, поэтому он снижает риск засорения сопла.